集成電路制造業(yè)潔凈室設(shè)計的三大類型
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發(fā)表時間：2023-04-07
集成電路制造對無塵車間的生產(chǎn)環(huán)境有較為嚴(yán)格的要求，所以運(yùn)行成本較高，不同的工藝制程對潔凈室內(nèi)潔凈度的要求也各有不同，例如光刻要求在I級的微環(huán)境下需要達(dá)10級，而化學(xué)機(jī)械研磨則只要求達(dá)1000級的潔凈度環(huán)境。并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難，因此操作靈活性很低。根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)的特點(diǎn)主要可分為三大類型：
（1）、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)：設(shè)計可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求，但運(yùn)行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難。
（2）、循環(huán)空調(diào)機(jī)配合高效送風(fēng)口系統(tǒng)：小規(guī)模低等級要求的潔凈室車間設(shè)計中被廣泛應(yīng)用，對于大面積高等級的潔凈車間則存在運(yùn)行成本過高、占用空間過大等缺點(diǎn)。
（3）、FFU循環(huán)系統(tǒng)：不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進(jìn)行系統(tǒng)升級和調(diào)整，這些都很好地滿足了半導(dǎo)體制造的需求，因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為凈化行業(yè)最主要的設(shè)計方案。
（1）、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)：設(shè)計可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求，但運(yùn)行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難。
（2）、循環(huán)空調(diào)機(jī)配合高效送風(fēng)口系統(tǒng)：小規(guī)模低等級要求的潔凈室車間設(shè)計中被廣泛應(yīng)用，對于大面積高等級的潔凈車間則存在運(yùn)行成本過高、占用空間過大等缺點(diǎn)。
（3）、FFU循環(huán)系統(tǒng)：不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進(jìn)行系統(tǒng)升級和調(diào)整，這些都很好地滿足了半導(dǎo)體制造的需求，因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為凈化行業(yè)最主要的設(shè)計方案。
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